高纯气体管道材料的好坏影响高纯气体管道的质量，那挑选管道材料时都要考虑哪些方面的因素。

管道材料特性对输送高纯气体管道而言，其影响气体质量的管道材料主要特性是气体渗透性 、出气速率、吸附性、表面粗糙度和耐磨性 、抗腐蚀性几个方面。

1.气体渗透性

(资料图)

气体从压力(或分压力)高的一侧透过材料向压力(或分压力)低的一侧流入的现象成为气体渗透。 因为空气中氧气和氮气分压力.大、气体分子相对较小，管道材料对气体的渗透性主要表现氧气和氮气的渗透 ， 一般对氧气的渗透测试比较多。

实验数据表明， 对于输送 ppm 级及更高纯度要求的气体， 从气体渗透角度必须选用不锈钢管或者钢管， 如果我们不恰当地选用了不符合要求的管道材料，那么，无论我们采取什么净化手段，都将是无济于事的。

2.出气速率:

材料冶炼过程形成的管道材料晶间或者晶格内部存在着某些杂质 ，如氮 、碳氢化合物等 ，在高纯气体输送过程中，这些杂质会缓慢地释放出来，污染高纯气体，尤其是杂质要求在 ppb 以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率极低。

3.吸附性:

由于水分等杂质是极性分子 ， 吸附性很强。 橡胶、塑料或一些表面粗糙的材料极易吸附水分等杂质 ，铜材对水吸附性极强 ，使用这些材料输送高纯气体易被污染 ， 除了输送ppm 级以下的氧气会使用紫铜管外， 高纯气体都不采用铜管和塑料管，气体会接触到的垫片、填料也不得采用橡胶、塑料材料(包括聚四氟乙烯 ) 。

4. 表面粗糙度和耐磨性:

为了 输送的气体纯净度， 要求管道材料内表面有一个极高的光洁度， 这样可以防止污染粒子及湿气在管壁滞留，可以在吹扫时比较容易吹净。

管材比较光洁而且耐磨， 可以在气流高速 冲刷下，产生 的金属粒就少 ，试验资料数据粒子数表明不锈钢比铜管产生粒子要少 ，所以不锈钢管耐磨性优于钢管。

5.抗腐蚀:

微电子生产中， 经常使用一些腐蚀性很强的气体 ，这时必须采用耐腐蚀的管材，否则管道会被腐蚀，轻则表面产生锈斑，重则管道大面积剥落、穿孔，不但污染气体 ，还会发生安全事故。

6. 内表面处理

为了进一步改善管道材料特性， 对管道内表面进行处理，一般有三种方法 ：酸洗钝化(AP ) ，光亮退火(BA) 和 电解抛光 (EP) 处理 。

试验资料和实践都证明，通过表面处理后 。管道材料的粗糙度减小。出气速率降低。表面吸附性减弱。

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